微弧氧化處理需經(jīng)歷四個(gè)步驟：
(1)陽(yáng)極氧化階段
將樣品放入一定的電解質(zhì)中。通電后，樣品表面和陰極表面出現(xiàn)無(wú)數(shù)細(xì)小均勻的白色氣泡，隨著電壓的升高，氣泡逐漸變大變密，生成速度加快。這種現(xiàn)象在達(dá)到突破電壓之前就已經(jīng)存在了，這是陽(yáng)極氧化階段。
(2)火花放電階段
當(dāng)樣品的電壓達(dá)到突破電壓時(shí)，樣品表面開始出現(xiàn)無(wú)數(shù)小而低亮度的火花點(diǎn)。這些火花點(diǎn)密度低，沒(méi)有爆炸性的聲音。在這個(gè)階段，陶瓷層開始在樣品表面形成，但陶瓷層的生長(zhǎng)率很小，硬度和密度很低，所以這個(gè)階段的時(shí)間應(yīng)該盡量減少。
(3)微弧氧化階段
進(jìn)入火花放電階段后，隨著電壓的不斷升高，火花逐漸變大變亮，密度增加。然后，放電弧斑開始出現(xiàn)在樣品表面?；“咻^大，密度較高，隨著電流密度的增加而變亮，并伴有強(qiáng)烈的爆炸聲，進(jìn)入微弧氧化階段。
(4)熄弧階段
在微弧氧化階段末期，當(dāng)電壓達(dá)到最大值時(shí)，陶瓷層的生長(zhǎng)將出現(xiàn)兩種趨勢(shì)。一是樣品表面的弧線越來(lái)越疏，最終消失，表面只有少量的細(xì)火花，最終消失，爆炸停止。另一種是表面只有少量的細(xì)火花，最終會(huì)完全消失，其他一個(gè)或幾個(gè)部位突然出現(xiàn)大弧斑。這些大弧斑明亮耀眼，能長(zhǎng)時(shí)間保持不動(dòng)，產(chǎn)生大量氣體，爆鳴聲增加。
