SSPH系列高功率脈沖磁控濺射(HPPMS)電源工作于二級(jí)高頻變換模式,直流脈沖輸出。電源由供電及脈沖調(diào)制兩部分構(gòu)成,單個(gè)脈沖可輸出2-8兆瓦的瞬時(shí)功率。高功率密度的陰極材料將產(chǎn)生高的金屬離化率 ,并且不含靶材顆粒。電源適用于金屬工具膜層及裝飾膜層制備。
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SSPH系列高功率脈沖磁控濺射(HPPMS)電源工作于二級(jí)高頻變換模式,直流脈沖輸出。電源由供電及脈沖調(diào)制兩部分構(gòu)成,單個(gè)脈沖可輸出2-8兆瓦的瞬時(shí)功率。高功率密度的陰極材料將產(chǎn)生高的金屬離化率 ,并且不含靶材顆粒。電源適用于金屬工具膜層及裝飾膜層制備。
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2023-05-05