微弧氧化又稱微等離子體氧化或陽極火花沉積，是一種將鋁、鈦、鎂等有色金屬或其合金置于特殊的電解液中，通過微等離子體放電，直接在金屬或合金表面原位生長陶瓷膜的新技術(shù)。它是在陽極氧化的基礎(chǔ)上建立起來的一種新方法。
一般認為，微弧氧化過程經(jīng)過四個階段。
（1）陽極氧化階段
將樣品置于一定的電解液中，通電后，樣品表面和陰極表面出現(xiàn)無數(shù)細小均勻的白色氣泡，而且隨電壓升高，氣泡逐漸變大變密，生成速率也不斷加快。在達到擊穿電壓之前，這種現(xiàn)象一直存在，這一階段就是陽極氧化階段。
?。?）火花放電階段
當施加到樣品的電壓達到擊穿電壓時，樣品表面開始出現(xiàn)無數(shù)細小、亮度較低的火花點。這些火花點密度不高，無爆鳴聲。在該階段，樣品表面開始形成陶瓷層，但陶瓷層的生長速率很小，硬度和致密度較低，所以應盡量減少這一階段的時間。
（3）微弧氧化階段
進入火花放電階段后，隨著電壓繼續(xù)升高，火花逐漸變大變亮，密度增加。隨后，樣品表面開始均勻地出現(xiàn)放電弧斑。弧斑較大，密度較高，隨電流密度的增加而變亮，并伴有強烈的爆鳴聲，此時即進入微弧氧化階段。
（4）熄弧階段
微弧氧化階段末期，電壓達到最大值，陶瓷層的生長將出現(xiàn)兩種趨勢。一種是樣品表面的弧點越來越疏并最終消失，表面只有少量的細碎火花，這些火花最終消失，爆鳴聲停止。另一種是表面只有少量的細碎火花，這些火花最終會完全消失，同時其他一個或幾個部位突然出現(xiàn)較大的弧斑。這些較大的弧斑光亮刺眼，可以長時間保持不動，并且產(chǎn)生大量氣體，爆鳴聲增加。
維護氧化技術(shù)的優(yōu)點及存在問題：
微弧氧化技術(shù)是在陽極氧化的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，工藝上有著突出的特點：（1）電解液呈弱堿性，對環(huán)境沒有污染；（2）工藝簡單，對工件的預處理只要求表面去油去污，不需去除表面的自然氧化層，適用于大規(guī)模自動化產(chǎn)生；（3）微弧氧化可以一次完成，也可以分幾次完成，而陽極氧化一旦中斷就必須重新開始；（4）不需要真空或低溫條件。
